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激光干涉仪进行角度测量的方法
时间:2019-06-01 19:40 新闻来源:未知 浏览

  激光干涉仪进行角度测量的方法。从几何角度来看,该角度表征了从同一点开始的两条直线之间的方向差异。接下来,本文将为大家简单的介绍下激光干涉仪进行测量的相关信息。

  角度的重现基于圆周角等于360°。有许多方法可以测量激光的角度。根据角度测量范围,可分为:小角度测量和全角度测量。根据合作目标的分类,可以分为客观镜像测量和非客观测量。根据坐标的特点,可分为:倾斜角度,旋转角度和滚动角度的测量。 激光干涉仪通过不同的光学元件测量机器的倾斜,旋转和旋转角度。

激光干涉仪

  许多机械系统,例如机床和测量机,使用笛卡尔坐标。在理想情况下,X,Y和Z坐标的三个轴彼此垂直。如果它们不是垂直的,则会影响空间坐标的准确性。因此,垂直度的测量引起了极大的关注。测量垂直度的方法基于直线度的测量,并且测量两个待测轨道的直线度作为方形直角的函数,并且可以计算两个轨道的垂直度。该测量方法的中心思想是使用双面镜的角平分线作为直线参考(称为准直基线)。测量垂直度时,首先调整准直基线,使其平行于待测方向,任何后续调整都不应改变双面镜。

  因此,激光干涉仪准直基线与要测量的地址平行。此时,光束以直角标准块和反射棱镜旋转90°,入射光和出射光由空心四面体形成。 棱镜放置在出射侧,光束从双面镜返回,合光并进入激光计数。四面体棱镜和沃拉斯顿在跟随另一个运动方向的过程中所表现出的直线度误差是垂直误差,误差值除以运动距离就是角度值。

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